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高纯氩气的性质

2020-06-04 16:25:22

性质:无色无味气体。化学性质不生动,未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃);液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。采用空气别离提氩,行将液化的空气进行精馏,得到粗氩。抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩。

高纯氩气


高纯氩在半导体工业顶用作出产高纯硅和锗晶体的维护5261气体;可用作体系,增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所使用4102。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;维护气;在钛、钴和其他金属的出产顶用1653作气;在黑色冶金顶用于吹炼特种钢。

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